Imec, het Belgische onderzoekscentrum voor geavanceerde chiptechnologie in Leuven, heeft de ASML EXE:5200 ontvangen: de meest geavanceerde lithografiemachine die momenteel beschikbaar is. Het systeem, met een geschatte waarde van 400 miljoen dollar, stelt Imec en zijn partners in staat om chips te ontwikkelen kleiner dan 2 nanometer. Daarmee versterkt Europa zijn positie in de mondiale chiprace.
Het systeem is geïnstalleerd in de 300mm-cleanroom op de Imec-campus in Leuven. De EXE:5200 is een zogenoemd High NA EUV-systeem, waarbij “High NA” verwijst naar een grotere numerieke apertuur: vergelijkbaar met een camera met een superieure lens, waarmee chipstructuren tot 66 procent kleiner kunnen worden gemaakt dan met eerdere generaties machines. Dat resulteert in snellere en energiezuinigere chips.
Wat zijn 2-nanometerchips?
Chips worden gemeten in nanometers: hoe kleiner het getal, hoe meer transistors er op een chip passen en hoe efficiënter die chip werkt. Ter vergelijking: een mensenhaar is ongeveer 80.000 nanometer breed. Chips kleiner dan 2 nanometer bevinden zich aan de absolute grens van wat technisch haalbaar is en zijn met name relevant voor toepassingen in kunstmatige intelligentie en high-performance computing, waarbij rekenvermogen en energieverbruik cruciale factoren zijn.
Onderdeel van Europees chipplan
De machine maakt deel uit van de NanoIC-pilotlijn, het grootste Chips Act-project van de Europese Unie. Die pilotlijn werd in februari 2026 officieel geopend op de Imec-campus in Leuven, met een totale investering van 2,5 miljard euro, waarvan 700 miljoen van de EU. Naast Imec zijn ook onderzoeksinstituten uit Frankrijk, Duitsland, Finland, Ierland en Roemenië betrokken. Het doel is om Europa een rol te geven in de ontwikkeling van de volgende generatie halfgeleiders, een sector die momenteel gedomineerd wordt door chipfabrikanten in de VS, Taiwan en Zuid-Korea.
ASML en Imec: een Brainport-connectie
ASML, de maker van de machine, is gevestigd in Veldhoven en vormt de kern van het Brainport-ecosysteem in de Eindhoven-regio. De samenwerking tussen ASML en Imec gaat verder dan alleen het leveren van machines: de twee organisaties werken al jaren samen aan het ontwikkelen en valideren van nieuwe lithografieprocessen. In 2024 versterkten ASML en Imec ook hun gezamenlijke inzet bij de samenwerking tussen de KU Leuven en de TU Eindhoven, gericht op opleiding en onderzoek in halfgeleidertechnologie.
ASML-CEO Christophe Fouquet sprak bij de installatie van “het angstrom-tijdperk”, een term uit de nanotechnologie die verwijst naar de volgende stap voorbij nanometers, waarbij chipstructuren worden gemeten in ångström (0,1 nanometer).
Operationeel einde 2026
Imec verwacht dat de EXE:5200 volledig operationeel is in het vierde kwartaal van 2026. Daarna kunnen partners van Imec gebruik maken van de machine voor het ontwikkelen van de volgende generatie chipontwerpen.
